Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы

Иванов, И. А.; Ковалевич, Э. В.

Главная
→
Периодические издания
→
Журнал "Материалы и технологии"
→
Материалы и технологии. - 2025. - № 2 (16).
→
Просмотр элемента

ISSN 2522-1647

dc.contributor.author	Иванов, И. А.
dc.contributor.author	Ковалевич, Э. В.
dc.date.accessioned	2026-02-23T10:32:46Z
dc.date.available	2026-02-23T10:32:46Z
dc.date.issued	2025
dc.identifier.citation	Иванов, И. А. Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич // Материалы и технологии. – 2025. – № 2 (16). - С. 26-31. – Библиогр.: с. 30-31 (10 назв.).	ru_RU
dc.identifier.uri	https://rep.vstu.by/handle/123456789/21849
dc.description	плазма	ru_RU
dc.description	источники плазмы	ru_RU
dc.description	вакуумные дуговые источники плазмы	ru_RU
dc.description	вакуумная дуга	ru_RU
dc.description	катод	ru_RU
dc.description	катод-мишень	ru_RU
dc.description	изготовление катода-мишени	ru_RU
dc.description	состав катода-мишени	ru_RU
dc.description	химический состав	ru_RU
dc.description	подбор химического состава	ru_RU
dc.description	температура катода	ru_RU
dc.description	интегральная температура	ru_RU
dc.description	величина интегральной температуры	ru_RU
dc.description	оценка величины	ru_RU
dc.format.mimetype	application/pdf	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Витебский государственный технологический университет	ru_RU
dc.title	Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU