Иванов, И. А.
Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич
// Материалы и технологии. – 2025. – № 2 (16). - С. 26-31. – Библиогр.: с. 30-31 (10 назв.).
Ключевые слова:
плазма; источники плазмы; вакуумные дуговые источники плазмы; вакуумная дуга; катод; катод-мишень; изготовление катода-мишени; состав катода-мишени; химический состав; подбор химического состава; температура катода; интегральная температура; величина интегральной температуры; оценка величины
